SHIANG YUAN INDUSTRIAL CO,. LTD.

鹼性Cr刻蝕液 Alkaline Chromium Etchant (日本產)

此產品針對基板及光罩上鉻(Cr)鍍層之刻蝕而開發之高性能鹼性刻蝕液,可適用於矽晶體及PI膜。亦可使用於石英元件上鉻(Cr)層之刻蝕。

產品特色:
1.產品為鹼性,有別於一般刻蝕液為酸性,可提供良好的刻蝕精細度。
2.對Au.Cu.Ni.Co.Pd.Si.Sn.Ta及Ti等金屬不會產生腐蝕問題。
3.可用於SUS.Sapphire.Silicon waferpolyimide等素材。

建浴方式:
建議原液使用。如欲刻蝕素材不同,亦可做稀釋使用。

使用條件:
1.處理方法:Dipping浸漬處理
2.使用溫度:25-45
3.使用時間:依照處理對象做調整
4.槽體材質:耐鹼性樹脂槽(PP)

Etching Rate:80nm/min(30)


管理方式:
視刻蝕液中之鉻(Cr)濃度,而進行浴液更換。

性狀:
1.外觀:黃色~赤褐色液體
2.性質:強鹼性
3.比重:1.14-1.18
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